小黄鸭黄色饮件旋轉速度對於清洗效果的影響

目 前TFT-LCD製程的清洗工藝經常采用的清洗方法有超紫外、毛刷滾刷清洗、泡沫噴射清洗以及純淨水噴射衝洗等。其中毛刷對於粒徑大於3;μm的 particles的清洗效果很好。毛刷通過緊貼玻璃基板表麵高速旋轉，可以有效去除粘附或者沉積在金屬和非金屬膜層的大顆粒particles。

　　本文通過改變毛刷的旋轉方向,以particles去除率為依據,探討了毛刷旋轉方向對清洗效果的影響。並分析了毛刷的旋轉速度,毛刷的壓入量對於清洗效果的綜合影響。

　　本文研究了小黄鸭黄色饮件轉速度對於清洗效果的影響, 毛刷采用圖1中方法1的旋轉方向進行清洗,清洗效果優於其他的旋轉方式,particles去除率達到 76.9;particles去除效果良好。在旋轉速度為500rpm壓入量為0.5mm時進行清洗;總的particles去除率最高達到71,各種粒 徑的particles的去除率都較好。